华海清科离子注入机交付国内先进存储龙头企业

据华海清科官微消息，近日，华海清科股份有限公司（简称“华海清科”）全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内先进存储领域龙头企业。

据华海清科介绍，iPUMA-LE关键性能指标已达到国际先进水平，具备优异的束流传输效率、注入均匀性与角度控制能力，能够满足先进制程、先进存储对离子注入工艺的严苛要求。

目前，华海清科在离子注入装备领域除大束流离子注入机系列装备已实现型号全覆盖外，中束流离子注入机系列装备也取得了阶段性进展，同时积极布局高能离子注入机系列装备，可全面服务于逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、图像传感器等多元应用领域，满足客户对不同工艺节点与器件类型的多样化需求。

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