GaAs晶圆厂订购多个ClassOne Solstice系统

美国半导体电镀和表面处理系统供应商ClassOne Technology已从亚洲最大的砷化镓晶圆厂之一获得了一份多用工具订单。该订单是针对ClassOne的Solstice S8系统而订的，包括用于高级镀金的专有GoldPro处理室。宣布这一消息的是ClassOne的首席执行官Byron Exarcos和高级技术总监John Ghekiere。

“该客户正在使用Solstice S8在150mm GaAs晶圆上进行大批量HBT工艺。”Ghekiere说，“他们正在生产先进的功率半导体器件，包括前端应用和后端通孔都涉及到几个重要的金工艺。他们对我们的GoldPro腔室感兴趣的原因有很多：一方面，它可以自动调整以适应各种衬底厚度，从标准厚度的晶圆到安装在厚衬底上的晶圆。因此不必为每种衬底重新设置参数。”

“另一方面，GoldPro反应器能够在提供优异的镀金均匀性的同时，还能提供高晶圆吞吐量，” Ghekiere说，“在前几代镀金系统中，用户通常必须在镀金质量和处理速度之间进行选择。但是，GoldPro旨在形成高度稳定的流动结构，从而在不牺牲电镀速率的情况下实现极其均匀的特征形状。”

“所有这些都使Solstice的销售额稳定增长，特别是在大批量代工厂和亚洲。”Exarcos说，“部分原因是Solstice的性能和灵活性，在同一台工具上可同时提供高质量的电镀和表面处理工艺，从而提高产量和投资回报率，但也是由于ClassOne在亚洲有高水平客户支持所致。许多客户才刚刚开始使用先进的电镀技术，因此从启动到全面生产，他们都依赖我们深厚的工艺经验和技术支持。

“例如，他们中有许多依赖我们通过中央技术研发中心提供生产前的样品，这可以大大缩短他们的时间表。正是这种世界一流的技术和世界一流的支持相结合，推动了我们在亚洲和世界各地收到许多重复订单。”

ClassOne的Solstice S8是一款八腔全自动单晶圆生产工具，可提供高性能的电镀以及晶圆表面制备，适用于一系列工艺，包括清洗、金属剥离、抗蚀剂剥离、UBM蚀刻等。Solstice系列还包括带有最多四个处理室的全自动S4和带有最多三个处理室的半自动Solstice LT，用于工艺开发或小批量生产。