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晟鼎精密:专注半导体细分领域,推出全自动双腔快速退火炉

2024/4/1 9:33:47      材料来源: 晟鼎精密

3月20-22日,2024慕尼黑上海电子生产设备展在上海新国际博览中心盛大召开。展会期间,东莞市晟鼎精密仪器有限公司半导体事业部总经理 欧建恒先生接受了化合物半导体&半导体芯科技的媒体专访

专注细分领域,成立半导体事业部

据欧建恒介绍,东莞市晟鼎精密仪器有限公司(简称“晟鼎精密”)于2012年成立,是一家集研发、设计、生产、销售及产业链服务为一体的国家高新技术企业。为广大客户提供先进的半导体、3C、新能源、显示等领域表面处理与检测整体解决方案。

晟鼎精密专注于半导体领域的设备开发与技术应用,目前已成立半导体事业部,通过持续的创新研发,成功研发出RTP快速退火炉、微波等离子清洗机、PLASMA等离子去胶机等,广泛应用于半导体行业,得到众多国内外主流市场厂商的认可,并取得良好的市场口碑。

核心产品重磅亮相,快速退火炉备受关注

本次慕尼黑上海电子生产设备展上,晟鼎精密全方位展现了RTP快速退火炉、微波等离子清洗机、在线真空等离子清洗机、大气等离子纳米镀膜等设备和解决方案。

其中,晟鼎精密推出的全自动双腔快速退火炉备受关注。据悉,这款设备从底层算法到整体硬件设计都由晟鼎精密自主研发,是一款针对化合物半导体材料的高效、安全的快速退火设备,适用于多规格尺寸(18片4英寸,8片6英寸,2片8英寸)硅片、第二代、第三代化合物材料等(包括但不限于磷化铟、砷化镓、碳化硅、氮化镓等各类衬底和外延片),同时还广泛应用于欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力等工艺中。

欧建恒表示,“我们的全自动双腔快速退火炉是国内500万以内最好的全自动双腔RTP设备。”据了解,晟鼎精密全自动双腔快速退火炉拥有出色的热源和结构设计,以双面卤素灯管为加热源,采用双面加热方式,灯管功率 PID 控温,可实时监控和矫正温度,实现精准控制温度升温,保证良好的重现性与温度均匀性。

此外,晟鼎精密自主研发的PLASMA去胶机也广泛应用于半导体先进封装领域,具有等离子密度高,去胶效果好且无损硅片与其他金属器件的特点。适用于Ashing(灰化)、聚合物去除、抗反射图形膜层干法清除、离子注入后光阻去除、射频滤波器BAW/SAW工艺中的光阻去除、硬掩膜层干法清除、刻蚀后表面清洁、DESCUM、表面残留物清除等工艺。

另外,晟鼎精密展出的其他设备,如大气等离子纳米镀膜设备能够实现局部镀膜,广泛用于3C、汽车、玻璃、金属、塑胶等行业;在线真空等离子清洗机用于增加产品表面能,改善表面润湿性,增强焊接,粘接,印刷,涂布等附着力可靠性;微波等离子清洗机可应用于半导体封装段,满足晶圆WB前,Molding前等离子处理需求,可以提供快速无损伤的等离子清洗效果。

晟鼎精密凭借先进的技术和丰富的产品线,在国内外市场上有着不俗的竞争力,已发展成为国内少数具有一定国际竞争力的半导体领域设备提供商,未来,晟鼎将以高品质的产品和服务持续赢得市场信赖,也将在现有产品的基础上进一步创新和改进,针对化合物半导体领域推出新产品、新技术,推动化合物半导体行业的设备发展与创新。

 
【近期会议】
5月22-23日,雅时国际(ACTInterational)将在苏州·狮山国际会议中心举办“2024半导体先进技术创新发展和机遇大会”。目前招观招商正在火热进行中,听众注册:https://w.lwc.cn/s/Bf2iAb

 

 

 

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