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国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备出机

2025/8/18 9:37:52 材料来源：无锡博报

据无锡博报公众号消息，日前，国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在无锡高新区成功出机。

据悉，无锡亘芯悦科技有限公司专注于研发、制造具有完全独立知识产权的28nm以下先进制程的超高精度电子束晶圆量检测设备，此次出机的中国首台28nmCD-SEM设备在电子光学系统、运动平台、电子电路和软件等方向实现了完全自研，将正式在某国内产线验证和使用。

电子束晶圆量检测设备是我国仅次于光刻机的关键短板，28纳米关键尺寸电子束量测量产设备的全自研、国产化突破，是有效解决中国半导体量检测领域“卡脖子”难题、迈向高端装备自主可控的里程碑式跨越。

活动现场，亘芯悦科技、上海交通大学自动化与感知学院合作共建的电子光学AI平台联合实验室同步揭牌。双方将在技术创新、产业应用、科技人才培养等领域展开全面合作，贯通“理论突破-工艺验证-产线落地”的创新链条，为后续的设备创新注入新动能。

企业相关负责人表示，未来将加大技术攻关，在更先进制程的量检测设备国产化上实现更大突破，同时带动无锡相关零部件供应商的发展，促进供应链的本地化，提升无锡集成电路产业整体竞争力。

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