全球首个！国投集团纳米级微振动实验室投运

据国家开发投资集团有限公司官网消息，近日，国投集团中国电子工程设计院股份有限公司(简称“国投集团中国电子院”)自主研发的全球首个纳米级微振动实验室在雄安新区正式投运。

实验室创下多项全球之最，标志着我国在精密装备微振动环境控制领域实现重要突破，为我国电子制程、空天信息等高端制造业的自主发展提供了关键支撑。

据悉，该实验室的核心装置是一台全球尺寸最大、精度最高的微振动实验台，从尺寸到精度，从承载能力到技术性能，刷新全球同类设备纪录。实验台平面尺寸达到4米×4米，台体自重约50吨，设计承载能力高达20吨，能够满足大型半导体设备整机及卫星全尺寸载荷的上台测试需求，这在全球范围内尚属首次。

雄安纳米级微振动实验室的投运，填补了我国在微振动试验方法、精密设备振动容许标准、隔振装置评价体系以及第三方试验服务等多个环节的技术与市场空白。

针对半导体产业，该实验室能够为光刻机、刻蚀机、量测设备等核心生产装备提供标准化的微振动环境评估服务，帮助设备厂商在研发阶段即可精确掌握产品的振动敏感特性，优化结构设计与隔振方案，从而加速国产半导体设备的成熟与量产进程。

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