据韩媒报道,近日,三星电子利用单元多层键合(CMB)技术连接两片450层3D NAND,突破传统单次堆叠极限,构建了全球首个900层超高堆叠3D NAND闪存原型,这一样品的存储单元工作特性已得到验证。
据悉,三星电子在原型制造中以“上部卡盘”(Upper Chuck) 解决了晶圆翘曲问题,并以新型套刻校正技术克服了微细对准误差,同时优化了位线(BL)与字线(WL)结构,在提升密度的同时降低芯片功耗与尺寸。
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